西江日报记者 肖桂芳

段相永工作照。 高新区供图

他站在一台液晶面板检测设备面前，思考着，一会儿凑近设备聚神细看，一会儿绕着设备走一圈……他是中导光电设备股份有限公司（以下简称中导公司）光学部部长段相永。

1982年出生的段相永中等个头，长有一张圆脸，开口眼含笑。段相永自中科院长春光机所光学工程专业博士毕业，在高分辨率光学系统开发领域有深厚的理论与技术的积累。

“相比做理论研究，我更喜欢做装备制造，为实业强国做贡献。”段相永说，2017年，他离开了中科院，在珠海的一家公司工作。“有一天，中导公司董事长李波给我电话，我们俩在电话里聊了3个小时，之后我就来到肇庆。”2018年，段相永正式加入中导公司，成为该公司光学部部长，着手带领团队开展芯片制程缺陷检测设备开发。

半导体产业中的检测设备主要包含前道检测（制程过程中工艺检测）和后道检测。前道量检测工艺对芯片制造有着至关重要的意义，它是提高产品良率、降低生产成本的重要环节，在很大程度上决定了代工厂的竞争能力。“芯片制造厂商的成败依赖于产品的良率，良率不达标会显著影响厂商的成本与收益，产品良率每降低一个百分点，厂商将损失100万—800万美元。”

中国是全球半导体制造设备的大市场，但国内的半导体制造业一直受制于进口，很大一部分原因也在于检测设备的缺失。“过去，半导体芯片制程缺陷检测设备一直被国外把持，国内该项技术领域一直是空白，成为我国半导体产业中的一个短板。”段相永说，“想着自己也可以把学到的技术转化到民用领域，帮助国家在芯片制造领域强大起来。”

中导公司成立以来，一直专注于高速高分辨率光学检测技术自主研发和创新。在段相永和团队的共同努力下，目前中导公司已自主研发完成高精度高速度光学检测系统、多角度多波段高功率照明系统、高度动态边检边拍技术、高速精密大型运动平台、高速缺陷检测算法、人工智能缺陷分类算法、高速高精度运动控制系统、自动检测UI软件等多项先进技术，并申请了几十项发明专利。

段相永介绍，目前，中导公司第一代芯片制程检测设备样机已经开发完成；第二代设备设计方案基本完成即将进入硬件装配。段相永坦言，做缺陷检测设备要“耐得住寂寞，经得起诱惑”，因为大多数人都会把目光放在成功的芯片制造商身上，而段相永团队的工作就是守护在这些客户身后，做无名英雄。

正是这种工作态度的推动，中导公司目前成长为国内唯一一家能够给液晶显示器前道制程检测提供光学AOI检测设备的供应商，性能达世界一流，广泛用于替代进口，同时大批进入国际市场。公司客户覆盖华星光电、信利、天马等主要液晶面板生产厂商，技术覆盖液晶显示器前道制程检测到后道外观检测，检测产品覆盖从大世代液晶显示器到OLED。

“技术永远都会更新迭代，我的实业强国之梦也永不停歇，要让更多的中国制造挺起民族脊梁。”段相永说。